Baz la ak kle nan realizasyon an nan entegrasyon optoelektronik se toujou entegrasyon fotonik.
(1) InP ki baze sou teknoloji entegrasyon fotonik
InP ki baze sou teknoloji aparèy optoelektronik se relativman matirite, ak entegrasyon an nan aparèy optoelektronik ak fonksyon diferan ka reyalize pa chanje estrikti a bann nan pwopòsyon pwopòsyonèl nan yon sèten fason sou substra a materyèl InP. Koulye a, teknoloji kwasans materyèl ki chanje estrikti bann enèji nan pwopòsyon pwopòsyon sitou gen ladan pwopòsyon teknoloji ibrid byen, teknoloji kwasans bou, menm metòd zòn aktif, ak zòn chwazi teknoloji epitaksi. Yo nan lòd yo jwenn pèfòmans-wo fotonik chips entegre pandan y ap minimize depans, teknoloji sa yo ka melanje. Pami yo, Guo Weihua nan Huazhong University of Syans ak Teknoloji ak lòt moun itilize pwopòsyon byen ibrid teknoloji reyalize sou-chip entegrasyon fotonik nan pasif ak aktif aparèy optoelektronik, ak fabrike InP ki baze sou monolitik entegre optik ranje faz. Monolitik fotonik sikwi entegre entegre lazer, splitters gwo bout bwa, faz faz, semi-conducteurs anplifikatè optik, detektè ak lòt konpozan reyalize 5 ° × 10 ° ki genyen de dimansyon gwo bout bwa defleksyon optik.
(2) Silisyòm Entegrasyon fotonik
Silisyòm entegrasyon fotonik ka divize an entegrasyon monolitik ak entegrasyon ibrid selon materyèl ak pwosesis fabrikasyon. Silisyòm fotonik entegrasyon monolitik se itilize nan teknoloji fabrikasyon Si CMOS sou wafer nan Silisyòm entegre plizyè Silisyòm ki baze sou aparèy fotonik ak fonksyon yo menm oswa diferan reyalize transmisyon an ak pwosesis nan youn oswa plis siyal optik sou chip la menm. Sepandan, kèk Silisyòm ki baze sou aktif aparèy optoelektronik (espesyalman Silisyòm ki baze sou lazer) pa gen ankò rive nan pèfòmans nan pi bon akòz karakteristik sa yo nan materyèl yo tèt yo, ak teknoloji entegrasyon ibrid yo te pwodwi.
Entegrasyon ibrid anjeneral entegre bato aparèy optoelektronik ak fonksyon diferan ki konpoze de sistèm materyèl diferan sou yon substra Silisyòm oswa nan lyezon, interkoneksyon oswa lyezon sou lòt substrats. Pami yo, gen anpil mwayen teknik pou entegrasyon Silisyòm fotonik ibrid, ki gen ladan kouple aliyman dirèk, griyaj kouple vètikal, ak lyezon lakòl BCB. Plizyè metòd entegrasyon gen pwòp avantaj ak dezavantaj yo. Pami yo, G. Roelkens ak lòt moun nan Inivèsite Ghent nan Bèljik itilize yon adezif geri espesyal (DVS-BCB) reyalize aparèy la gwoup III-V yo nan lòd yo reyalize entegrasyon an eterogèn ak aparèy la opto-elektwonik III-V sou SOI optik ond la . Tès yo montre ke epesè lakòl BCB ant bato anwo ak pi ba yo se sèlman apeprè 45nm, epi li ka asire presizyon pwosesis kouple a ak estabilite pwosesis entegrasyon an.
(3) entegrasyon Optoelectronic
Devlopman kontinyèl nan teknoloji entegrasyon fotonik fè gwo-echèl teknoloji entegrasyon optoelektronik posib. Tandans nan devlopman nan teknoloji entegrasyon optoelektronik sitou gen ladan twa aspè sa yo: Premyèman, gwo vitès ak pèfòmans segondè (ki ba bri, segondè Pleasant, gwo ranje dinamik), sa ki ka satisfè bezwen yo nan itilizatè fen pou transmisyon done segondè-vitès; dezyèm, gwo-echèl entegrasyon etalaj, sa ki ka Satisfè rezo zo rèl&# 39 a bezwen pou ogmantasyon vitès sibstansyèl; twazyèm lan se pwosesis siyal milti-fonksyon, ki entegre fonksyon pwosesis siyal konplèks tankou jenerasyon fòm, jijman done, rekiperasyon revèy, jesyon bande, siveyans chanèl, ak jenerasyon siyal mikwo ond / transmisyon / deteksyon. Teknoloji kle nan entegrasyon optoelektronik se san dout teknoloji entegrasyon nan aparèy fotonik entegre ak gwo vitès aparèy mikwoelektronik. Nan sans de konpleksite nan teknoloji entegrasyon optoelektronik, lide yo an jeneral nan teknoloji entegrasyon optoelektronik kounye a sitou adopte nan kay ak aletranje yo relativman ki konsistan. Yo tout adopte entegrasyon relativman endepandan kouch fotonik ak kouch elektwonik la. Siyal optik la ak siyal elektrik la transmèt endepandamman oswa kouch. Entèrkonèksyon elektrik la nan siyal elektrik reyalize nan teknoloji entèrkonèksyon etewojèn oswa eterojèn ant kouch. Kouch fotonik la sanble ak teknoloji ki gen rapò ak entegrasyon fotonik. Kouch elektwonik la anjeneral adopte estanda Silisyòm CMOS teknoloji, epi sèlman materyèl Silisyòm ki baze sou ka reyalize gwo-echèl, pri ki ba fabrikasyon nan VLSI. Selon kalite ak metòd aplikasyon aparèy optoelektronik yo itilize pou entegrasyon, entegrasyon optoelektronik ka divize an entegrasyon monolitik optoelektronik ak entegrasyon ibrid optoelektronik. Ansyen an se reyalize preparasyon an ak entegrasyon nan aparèy optik ak elektrik sou yon substra tout-Silisyòm, ak lèt la reyalize sou yon substra Silisyòm ki baze sou nan Silisyòm via (TSV) oswa lòt ki genyen twa dimansyon eterojèn / eterojèn entegrasyon teknoloji Entegre ak anpil lòt aparèy optoelektronik.
